OEM 高純度多孔質金属 316L チャンバーディフューザーおよびフィルター
HENGKO OEM ガスチャンバーディフューザーは、チャンバー内の粒子を乱すことなく、均一な層流のガス流を提供します。これらのディフューザーは、入ってくるガスから粒子を除去し、ウェーハ上の欠陥を最小限に抑えます。より高い動作圧力に耐え、製品の完全性サイクルを維持できます。
代表的なアプリケーション
チャンバーディフューザーは、次の用途での通気に使用されます。
•移送チャンバー
•冷却室
•プロセスチャンバー
半導体装置インターフェース (CVD、PVD、エッチング、エピ) またはその他の真空チャンバーの
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OEM 高純度多孔質金属ステンレス鋼 316L チャンバーディフューザーおよびフィルター
1. 正確な孔径、均一かつ均一に分布した孔。細孔サイズ範囲: 0.1um ~ 120 ミクロン。
2. 通気性が良く、ガスと液体の流量が速く、均一に発散します。HENGKO の特別なプロセスが最適化されているため、他の同等製品よりもはるかに優れています。
3. 優れた濾過防塵および遮断効果、高い濾過効率。細孔サイズ、流速、その他の性能はご要望に応じてカスタマイズ可能です。
4. 支持耐荷重が高く、他の補助サポートを使用する必要がなく、構造要素として直接使用できます。
5.安定した構造、粒子は移動せずにしっかりと結合しており、過酷な環境下でもほとんど分離できません。
6. 疲労強度と衝撃応力が高く、耐圧性が高く、圧力差や流量が大きい用途に適しています。高圧流体 (40mpa) 条件下での長期使用に適した焼結多孔質ステンレス鋼フィルターエレメントが用意されています。
7. 高温およびヒートショックに対する耐性。HENGKO ステンレス鋼フィルターエレメントは摂氏 600 度で動作でき、酸化雰囲気でも高温に耐えることができます。
8. 特殊な多次元ハニカム入れ子毛細管構造による優れた分離機能とノイズ低減機能。
9. 他の同等品とは異なり、HENGKO ステンレス鋼フィルターエレメントはさまざまな環境で腐食されていません。耐食性と防錆性の性能は緻密なステンレス鋼製品に近いです。
10. 10,000 を超える製品サイズとタイプから選択でき、複数の複雑な構造を持つステンレス鋼フィルター製品の必要に応じてカスタマイズ可能。
11. 小さな直径(5-20 mm)、長いフィルターチューブの長さは最大800 mmです。
12. プレートフィルターの加工可能寸法は、L 800 * W 450 mm までです。
13. ディスク フィルターの最大直径は 450 mm までです。
14. 絶妙な製品外観は、見た目のパーツとして製品のレベルとイメージを大幅にアップグレードします。
15. さまざまな洗浄方法が利用可能で、逆洗浄後の強力な再生能力、長寿命。