半導体産業向け微細多孔質焼結金属フィルター付き1/2インチVCRガスケット

半導体用途向け多孔質金属ガスケットフィルター
精密ガスシステムを保護するための信頼性の高いソリューション:
1.) 特別に設計半導体ガス供給システムこのオールメタルフィルターはシームレスな互換性
1/4インチ、3/8インチ、1/2インチのVCR標準ガスケットインターフェースを備えています。
2.)ガスケットスタイルのデザイン保証する簡単なインストール、それは重要な保護バリアになります
MFC(マスフローコントローラ)モジュール, 精密バルブ、 そして圧力調整器.
3.) 耐えられる最高400℃の温度、多孔質金属ガスケットフィルター粒子の侵入を効果的にブロックし、
敏感なガス成分を保護します。
4.) 汚染関連の漏洩を防ぐことで、機器の寿命を延ばすそしてメンテナンスコストを削減.
5.) 両方で利用可能低圧モデルと高圧モデルこのフィルタは既存の配管システムに後付け,
提供する費用対効果の高いソリューション精密機器を汚染から守るため。

仕様
| 技術的パラメータ | 詳細 |
|---|---|
| フィルター素材 | 焼結316Lステンレス鋼粉末 |
| ハウジング/ガスケット材質 | 316Lステンレス鋼 |
| 表面仕上げ(外装) | Ra≤1.6μm |
| 表面仕上げ(内装) | 研磨+電解研磨、Ra ≤ 0.2μm |
| 最大動作温度 | 400℃ |
| 粒子保持効率 | ≥99.9999999% (9 LRV) @ 100 slpm (MPPSに基づく、すべての粒子について) |
| 粒子サイズ捕捉 | ≥0.3μm |
| 対応サイズ | 1/4''、3/8''、1/2'' VCR標準ガスケットインターフェース |
| 応用 | 半導体ガス分配システム、MFCモジュール、精密バルブ、圧力レギュレータ |
| 利用可能なモデル | 低圧バージョンと高圧バージョン |
製品の特徴
| 製品の特徴 | 詳細 |
|---|---|
| 材料 | 316Lステンレス鋼で完全に構築されています |
| インストール | 表面シールフィルターとして使用できるため、設置時にパイプの切断や溶接などの追加作業が不要になります。 |
| 耐久性 | 高温、高圧、腐食に耐性があります |

低圧シリーズ
低圧システムパイプラインに適しています
*最大動作圧力0.98Mpa
*流量範囲:0〜100slpm

| 製品モデル | フィルター精度 | ガスケットサイズ | A | B | C |
| Z01B-00690 | 0.3 µm | 1/4インチVCR | Φ11.90 mm | Φ5.50mm | 0.70ミリメートル |
| Z01B-00640 | 1/2インチVCR | Φ19.80 mm | Φ11.20 mm | 0.70ミリメートル | |
| Z01B-00691 | 3/4インチVCR | Φ28.00 mm | Φ16.80 mm | 0.70ミリメートル | |
| Z01B-00693 | 1.0 µm | 1/4インチVCR | Φ11.90 mm | Φ5.50mm | 0.70ミリメートル |
| Z01B-00694 | 1.0 µm | 1/2インチVCR | Φ19.80 mm | Φ11.20 mm | 0.70ミリメートル |
| Z01B-00692 | 1.0 µm | 3/4インチVCR | Φ28.00 mm | Φ16.80 mm | 0.70ミリメートル |
| Z01B-00725 | 5µm | 1/4インチVCR | Φ11.90 mm | Φ5.70mm | 0.70ミリメートル |
| Z01B-00726 | 10µm | 1/4インチVCR | Φ11.90 mm | Φ5.70mm | 0.70ミリメートル |
ろ過精度(0.01~60µm)と寸法はカスタマイズ可能です。
応用
多孔質ステンレス鋼VCRガスケットフィルターの用途
1.半導体製造:
*ガス分配システムで粒子をフィルタリングし、マスフローコントローラ (MFC)、バルブ、レギュレータなどの敏感なコンポーネントを保護するために使用されます。
*化学蒸着(CVD)やエッチングなどのプロセスでクリーンなガス供給を確保し、製品欠陥につながる粒子汚染を防止します。
2.製薬およびバイオテクノロジー産業:
*医薬品製造におけるガス滅菌やガス混合などの重要なプロセス用の高純度ガス供給システムでの使用に最適です。
*製品の品質に影響を与える可能性のある汚染物質をろ過することにより、生産に使用されるガスの完全性を保証します。
3.航空宇宙およびハイテク製造業:
*航空宇宙分野の先進的な材料、コーティング、部品の製造に使用される精密ガス流量制御システムに適用されます。
*極端な温度と圧力に耐え、厳しい環境でも長期間にわたって粒子ろ過を実現します。

4.化学処理:
※高温、高圧、腐食環境となる化学工場のガス供給ラインに有効です。
*化学反応を妨げたり、機器の故障につながる可能性のある粒子汚染を防ぎます。
5.実験室および研究施設:
*ガスクロマトグラフ、質量分析計、その他の高感度分析装置などの科学機器用の高精度ガス供給システムに使用されます。
*繊細な器具を粒子汚染から保護し、精度と寿命を向上させます。
6.高純度ガス供給:
*電子機器製造など、汚染物質が製造プロセスを妨害する可能性のある超クリーンガスを必要とするシステムに不可欠です。
*316L ステンレス鋼構造により耐久性と耐薬品性が確保され、過酷な動作環境にも適しています。
7.極低温ガスシステム:
*医療ガス供給や液化ガス処理などの業界で極低温プロセスのパフォーマンスに影響を及ぼす可能性のある粒子を除去することが重要な極低温ガス供給システムに適しています。
8.石油・ガス産業:
*製油所や石油化学工場のガスろ過システムに使用され、ガス流から汚染物質を除去し、機器を汚れや摩耗から保護します。
アプリケーションの主な利点:
*高温・高圧耐性フィルターが極端な条件下でも確実に機能することを可能にします。
*耐腐食性316Lステンレス鋼を使用しているため、化学的に腐食性の高い環境でも長寿命が保証されます。
*便利なインストール追加の切断や溶接の必要がないため、既存のシステムに簡単に後付けできます。

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