半導体フィルター

半導体ガスフィルター:

チップ製造における完璧なガス純度の確保

精度と純度が最も重要な半導体製造の複雑な世界では、

使用されるガスは、プロセスの成功を決定する上で重要な役割を果たします。不純物はたとえ極微量であっても、

マイクロチップの繊細な回路に大損害を与え、欠陥が生じて使用できなくなる可能性があります。守るために

この重要なプロセスでは、半導体ガスフィルターが不屈の守護者として立ち、細心の注意を払って汚染物質を除去します。

製造ラインを流れるガスの純粋な品質を保証します。

焼結金属フィルターには多くの優れた特徴と利点があります

1. 最先端のクリーンルーム環境で製造

これらのフィルターは、潜在的な汚染を最小限に抑えるために完璧な状態が細心の注意を払って維持される環境である最先端のクリーンルームで生まれます。精製された空気雰囲気下での精密溶接から始まる厳格な製造プロセスを経ます。その後の脱イオン水のフラッシュとそれに続く高圧の濾過窒素パージにより、残留粒子が除去され、粒子の脱落のリスクが軽減されます。

2. 優れた粒子除去効率

SEMI F38 および ISO 12500 試験方法によって設定された厳しい基準に準拠し、0.003μm の粒子に対して 9 LRV という優れた濾過効率を備えたこれらのフィルターは、腐食によって生成された粒子や可動部品から生成された粒子を効果的に除去し、製品の純粋な純度を保証します。ガス。

3. 優れた機械的強度

これらのフィルターは、高いガス圧が頻繁に使用される要求の厳しい製造プロセスや環境において優れた回復力を保証するために厳格にテストされており、その寿命を通じて揺るぎない性能を提供します。

4. 最高の業界標準を超える

これらのフィルターは、半導体プロセスの厳しいガス処理濾過要件を超えて、半導体製造のガス供給システムに要求される重要な濾過効率、正確な流量制御、および安全基準を満たしていることを保証するために厳格なテストを受けています。

5. 安全への揺るぎない取り組み

可燃性、腐食性、有毒、発火性のプロセスガスへの曝露を防ぐために、フィルターハウジングは綿密なリークテストを受け、1x10-9 atm scc/秒未満という驚くべきリーク率を達成していることを保証します。安全性に対するこの揺るぎない取り組みにより、有害なガスが確実に封じ込められ、害を及ぼすことが防止されます。

6. 卓越したチップ製造のための妥協のない純度

これらのガスフィルターは、卓越した濾過能力、安全性への揺るぎない取り組み、最高の業界基準への準拠を通じて、半導体製造の複雑なプロセスを保護する上で極めて重要な役割を果たしています。それらは純度の守護者としての役割を果たし、最もクリーンなガスのみが製造ラインを流れるように保証し、現代世界を動かす高性能マイクロチップの製造への道を切り開きます。

半導体フィルタの種類

半導体フィルタは、次のようなさまざまな用途に使用されます。

* 電子機器製造:

半導体フィルターは、半導体の製造に使用される超純水、ガス、化学薬品から粒子を除去するために使用されます。

* 化学的機械的平坦化 (CMP):

半導体フィルターは、半導体ウェーハの研磨に使用される CMP スラリーから粒子を除去するために使用されます。

*生物医学:

半導体フィルターは、医療診断や治療に使用される液体から粒子を除去するために使用されます。

* 環境：

半導体フィルターは、空気や水から粒子を除去するために使用されます。

半導体フィルタには主に 4 つのタイプがあります。

1. メンブレンフィルター:

メンブレンフィルターは薄い多孔質フィルムでできており、粒子を捕捉しながら流体を通過させます。

 

半導体用メンブレンフィルター

 

 

2.深度フィルター:

デプスフィルターは、粒子がフィルターを通過する際に捕捉する、厚く曲がりくねった材料の層でできています。

 

半導体用デプスフィルター

 

 

3. 吸着フィルター:

吸着フィルターは粒子を引き寄せて保持する素材でできています。

 

 半導体用吸着フィルター

 

 

4. 金属焼結フィルター

焼結金属フィルターは、半導体製造で一般的に使用される深層フィルターの一種です。これらは、微細な金属粉末を焼結して多孔質構造にすることによって作られます。焼結金属フィルターは、耐久性が高く、濾過効率が高く、高温や高圧に耐えられることで知られています。

半導体製造における金属焼結フィルターの利点:

* 高い耐久性:

焼結金属フィルターは非常に耐久性があり、高温、圧力、腐食性化学物質などの過酷な動作条件に耐えることができます。

 

* 高い濾過効率:

焼結金属フィルターは、0.01 ミクロンまでの粒子を除去できます。これは、繊細な半導体コンポーネントを汚染から保護するために不可欠です。

*長寿命:

焼結金属フィルターは寿命が長く、簡単に洗浄して再利用できます。

* 化学的適合性:

焼結金属フィルターは幅広い化学薬品と互換性があるため、さまざまな半導体製造プロセスでの使用に適しています。

半導体製造における焼結金属フィルターの用途:

* ガス浄化:

金属焼結フィルターは、半導体製造で使用される窒素、水素、酸素などのガスを浄化するために使用されます。

* 化学濾過:

焼結金属フィルターは、酸、塩基、溶剤など、半導体製造で使用される化学物質を濾過するために使用されます。

※超純水濾過：

金属焼結フィルターは、半導体製造に使用される超純水を濾過するために使用されます。

* CMP スラリー濾過:

焼結金属フィルターは、半導体ウェーハの研磨に使用される CMP スラリーを濾過するために使用されます。

焼結金属フィルターは半導体製造プロセスに不可欠な部品であり、高品質の半導体デバイスの生産を保証します。

 

特定の用途で使用される半導体フィルターの種類は、除去される粒子のサイズ、濾過される流体の種類、および必要な濾過レベルによって異なります。

以下に、さまざまな種類の半導体フィルターをまとめた表を示します。

フィルターの種類	説明	アプリケーション	画像
メンブレンフィルター	薄い多孔質フィルムでできており、粒子を捕捉しながら流体を通過させます。	エレクトロニクス製造、CMP、生物医学、環境	半導体用メンブレンフィルター
深度フィルター	フィルターを通過する粒子を捕捉する、厚く曲がりくねった材料のベッドで作られています。	CMP、生物医学、環境	半導体用デプスフィルター
吸着フィルター	粒子を引き寄せて保持する素材で作られています。	エレクトロニクス製造、CMP、生物医学、環境	半導体用吸着フィルター
金属焼結フィルター	微細な金属粉末を多孔質構造に焼結して作られます。	ガス精製、薬品ろ過、超純水ろ過、CMPスラリーろ過	新しいウィンドウで開きますwww.hengko.com 半導体用金属焼結フィルター

応用

焼結金属半導体ガスフィルターは、半導体産業のさまざまな用途に広く使用されています。高い濾過効率、耐久性、高温高圧に耐える能力などのユニークな特性により、半導体製造におけるガス供給システムの必須コンポーネントとなっています。

以下に、焼結金属半導体ガスフィルターの具体的な用途をいくつか示します。

1. ウェーハの生産:

焼結金属フィルターは、窒素、水素、酸素などのウェーハ製造に使用されるガスを精製するために使用されます。これらのガスは、エピタキシャル成長、エッチング、ドーピングなどのプロセスに不可欠です。

2.化学濾過：

焼結金属フィルターは、酸、塩基、溶剤など、半導体製造で使用される化学物質を濾過するために使用されます。これらの化学薬品は、洗浄、エッチング、研磨などのさまざまな目的に使用されます。

3.超純水ろ過：

金属焼結フィルターは、半導体製造で使用される超純水（UPW）の濾過に使用されます。UPW は、ウェーハの洗浄とリンス、および薬品の準備に不可欠です。

4. CMP スラリー濾過:

焼結金属フィルターは、半導体ウェーハの研磨に使用される CMP スラリーを濾過するために使用されます。CMP はマイクロチップの製造において重要なプロセスです。

5. 使用時点 (POU) フィルタリング:

焼結金属フィルターは POU フィルターとしてよく使用され、最高レベルの濾過を提供するために使用場所に直接取り付けられます。POU フィルターは、マイクロプロセッサーやその他の高性能デバイスの製造など、ガスの純度が重要な用途に特に重要です。

6.高純度ガスの取り扱い：

焼結金属フィルターは、半導体製造で使用されるガスから汚染物質を除去するために、高純度ガス処理システムで使用されます。これらの汚染物質には、粒子、水分、有機化合物が含まれる場合があります。

7. マイクロエレクトロニクス製造:

焼結金属フィルターは、コンピューター、タブレット、携帯電話、IoT センサー、制御装置などのマイクロエレクトロニクスの製造に使用されます。

8. 微小電気機械システム (MEMS) フィルタリング:

焼結金属フィルターは、マイクロ電気機械システムから汚染物質を除去するプロセスである MEMS 濾過に使用されます。MEMS は、センサー、アクチュエーター、トランスデューサーなどのさまざまな用途に使用されます。

9. データストレージデバイスのフィルタリング:

焼結金属フィルターは、ハードドライブやソリッドステートドライブなどのデータストレージデバイスから汚染物質を除去するプロセスであるデータストレージデバイスの濾過に使用されます。

これらの特定の用途に加えて、焼結金属半導体ガスフィルターは半導体産業の他のさまざまな用途でも使用されています。その多用途性と信頼性により、半導体メーカーにとって不可欠なツールとなっています。

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