半導体ガス精製システム用焼結インライン金属ガスフィルター
焼結インライン金属ガスフィルターは、反応性材料層を用いて、水分、酸素、二酸化炭素、一酸化炭素、炭化水素、金属カルボニルなどの不純物を除去します。従来の粒子フィルターでは効果が得られない領域でも、ガス流から不純物を除去できます。当社の材料は、プロセス流に金属やその他の有害な汚染物質を混入させることなく、バックグラウンドレベルの汚染物質を除去します。
全金属製高流量フィルターは、供給地点で粒子を含まないプロセスガスを供給するという懸念とニーズを満たします。インライン金属ガスフィルターは、焼結ステンレス鋼金属フィルターステンレス鋼製のハウジング付き。焼結フィルターメディアから製品を取り出します（焼結ステンレス鋼フィルター半導体、フラットパネルディスプレイ、ソーラーパネルなどの製品の製造に使用されるガスフィルターという最終製品に至るまで、あらゆる工程を経て製造されます。
利用可能焼結金属フィルターあらゆるプロセスガスに対応するろ過装置。お客様の設置要件に合わせて、様々な継手タイプをご用意しています。超高純度バルクガス供給における最も厳しいニーズに対応するため、0.1μmのろ過技術を採用した製品もございます。
アプリケーション:
不活性ガス
希ガス
非反応性ガス
水素化物ガス
パーフルオロカーボンおよび腐食性ガス。
