半導体ガス精製システム用焼結インライン金属ガスフィルター

焼結インライン金属ガスフィルターは、材料の反応床を使用して、水分、酸素、二酸化炭素、一酸化炭素、炭化水素、金属カルボニルなどの不純物を除去します。従来の粒子フィルタリングが効果的でない領域では、不純物がガス流から排出されます。当社の材料は、金属やその他の有害な汚染物質をプロセスの流れに与えることなく、バックグラウンドレベルの汚染物質を除去します。

全金属製の高流量フィルターは、納品時に粒子のないプロセスガスを供給するという懸念とニーズを満たします。インラインメタルガスフィルターは、焼結ステンレス鋼金属フィルターステンレス鋼のハウジングを備えています。焼結濾材から製品を取り出します（焼結ステンレスフィルター) 半導体、フラットパネルディスプレイ、ソーラーパネルなどの製品の製造に使用されるガスフィルターという最終製品に至るまで。

利用可能な焼結金属フィルターすべてのプロセスガスをろ過します。お客様の設置要件に合わせてさまざまなタイプの継手を用意しています。0.1 µm のろ過技術を利用して、超クリーンなバルクガス供給の最も厳しいニーズに対応します。

アプリケーション:
不活性ガス
希ガス
不活性ガス
水素化物ガス
パーフルオロカーボンおよび腐食性ガス。