ガス精製器メーカー 高温高圧用純度ガスフィルター

ガス精製器メーカー 高温高圧用純度ガスフィルター

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統合高純度ガス システム アセンブリ向けに特別に設計された、高精度、高流量の全金属濾過。

前処理
フィルターカートリッジとその部品はクリーンルーム環境で製造および梱包されています。カートリッジに付着している粒子と水は 10 ppb 未満です。

濾過にすぐに使用できます

電子グレードのケージ処理Ra<0.3umの内面電解研磨

精密ろ過

精密ガスろ過に必要な除去性能0.2μmを実現

100% ヘリウム リーク テスト

品質を保証するためにヘリウムリークテストを使用して100%テストされています。

高い粒子除去効率

■ 粒子の脱落が極めて少ない

■ 優れた水分ドライダウン特性

■アウトガスが極めて少ない

■ 優れた化学適合性

■ 高差圧定格

■ インライン全溶接構造

■ 最大流量: 30、225、600、900、2700 std L/min

■ エンド接続: 1/4、1/2、および 3/4 インチ一体型オス VCR 面シール フィッティング。1/4 インチ メス VCR フェイス シール フィッティング

■ 業界標準の長さ。注文情報と寸法を参照してください。

アプリケーション:

半導体プロセス装置

溶接ガス/パージガス

グローブボックスパージガス

アニーリングカバーガス

積層造形

医薬品の製造

太陽光とエネルギー

その他の新興テクノロジー

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