HENGKO® 高純度半導体ガスフィルター
高純度シリーズフィルターは、半導体ガスを濾過するように設計されています。この完全に溶接されたアセンブリは、0.003 ミクロンの粒子補助保持力を実現します。
半導体ガスフィルターは、ステンレス鋼焼結フィルターカートリッジとサポート構造、重要な半導体プロセスガス用途向けの 316L ステンレス鋼電解研磨溶接ハウジングを含む内部オールステンレス鋼構造を特徴としています。
初期の清浄度を達成するために、最終アセンブリを濾過したニッケルでパージします。
応用業界:
ポイントオブユース半導体特殊ガスろ過
不活性および特殊ガスの移送。
技術仕様は次のとおりです。
3nmフィルター定格
当社の多孔質焼結ステンレス鋼フィルターは、0.003μm で効果的な粒子保持効率を実現します。
最高動作温度: 121°C (250°F)
最大動作圧力: 20°C (68°F) で 207 bar (3000 psig)。
機能と利点：
多孔質ステンレス焼結濾材 / 多孔質ステンレス焼結支持構造
316L 焼結ステンレス鋼フィルターは、優れた耐流動性と耐薬品性を提供します。
電解研磨された 316L ハウジング
このフィルター アセンブリには、腐食や粒子の形成を防ぐために 10Ra 電解研磨された 316L ステンレス鋼ハウジングが付いています。
クリーンルーム生産
当社の半導体ガス用ステンレス鋼焼結フィルターはクリーンルームで製造されており、粒子のない、化学的に清潔な、非有機的な取り扱いと袋詰めを保証し、袋外の高レベルの清浄度を提供します。追加の前処理はオプションです。
よくある質問
1. 高純度半導体ガスフィルターとは何ですか?
高純度半導体ガスフィルターは、電子部品の製造に使用されるガスから不純物を除去するために設計された特殊なタイプのフィルターです。これらのフィルターは、高温や腐食性化学薬品に耐えられる素材で作られており、ナノスケール レベルまで粒子を除去するように設計されています。
2. 高純度半導体ガスフィルターはなぜ重要ですか?
半導体の製造では、たとえ少量の不純物でも欠陥が発生し、最終製品の全体的な品質が低下する可能性があります。高純度半導体ガスフィルターは、製造プロセスで使用されるガスに汚染物質が含まれていないことを保証し、より高品質の電子部品を実現します。
3. 高純度半導体ガスフィルターで濾過できるガスの種類は何ですか?
高純度半導体ガスフィルターは、水素、窒素、酸素、その他のさまざまなプロセスガスを含む幅広いガスの濾過に使用できます。特定の製造プロセスに応じて、望ましいレベルの純度を達成するためにさまざまなタイプのフィルターが必要になる場合があります。
4. 高純度半導体ガスフィルターはどのように作られるのですか?
高純度半導体ガスフィルターは、ステンレス鋼やその他の高強度金属などの材料で作られています。フィルターエレメントは通常非常に小さく、孔径は 0.1 ～ 1 ミクロンの範囲です。多くの場合、フィルターは表面特性を強化し、濾過性能を向上させるために特殊な材料でコーティングされています。
5. 高純度半導体ガスフィルターの寿命はどれくらいですか?
高純度半導体ガスフィルターの寿命は、フィルターの種類、濾過されるガス、特定の製造プロセスなど、さまざまな要因によって異なります。一般に、これらのフィルターは長期使用向けに設計されており、交換が必要になるまで数か月、場合によっては数年持続します。定期的なメンテナンスと清掃は、これらのフィルターの寿命を延ばし、長期にわたって最適なパフォーマンスを保証するのに役立ちます。
